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    什么是洁净室?洁净室的状态可分为几种?
    发布时间:2017-01-03    阅览次数:1642 次  
    什么是洁净室?洁净室的状态可分为几种?
    洁净室也称无尘室。它是污染控制的基础,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在fed-std里面,洁净室被定义为具备空气过滤,分配,优化构造材料和装置的房间,其中特定的规则操程序用于控制空气悬浮粒度。从而达到适当的微粒洁净度级别。
    洁净室是指将一定空间 范围内空气中的微粒子,有害空气。细菌等污染物排出,并将室内温度,洁净度,室内压力气流速度与气流分布,噪声振动及照明,静电控制在需求范围内而特别设计的房间。即 不论外在空气条件如何变化,室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度,温湿度及压力等性能。
    洁净室最主要的作用在控制产品如硅芯片等所接触的大气洁净度以及湿湿度,使产品能在一个良好的环境空间中被生产,制造此空间称为洁净室。按照国家国际惯例无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一粒灰尘,而是控制在一个非常数量的单位上。当然这个标准中负合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经小的微乎其微,但是对于光学产品而言,哪怕一点点灰尘都会产生非常大的负面影响,所以光学构造产品的生产上无尘是必然的要求。
    将每立方米径小于0.3um的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的a级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于a级,这样的高标准主要被运用在一些高级的芯片的生产上,粒径在5um级以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的ik级别。
    洁净室状态分为以下三种,
    (1)空态;已经建造完成并可以投入使用的洁净室设施,它具备所以相关的服务和功能,但是在设施内没有操作人员操作设备。
    (2)静态;各种功能完备,设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室设施,但是设施内没有操作人员。
    (3)动态;处于正常使用的洁净室,服务功能完善,有设备和人员;如果需要可从事正常的工作。